ナノメイトは砥粒保持力に優れたビトリファイドボンドホイールです。高気孔率組織と特徴ある砥粒層形状が低い研削抵抗を実現。300mmシリコンウエハで1ミクロンいかの平坦度を実現し、ノードレス加工の実現、良好な仕上が面粗さ、浅い加工ダメージを提供します。
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連続研削で良い仕上面粗さを得るために
・微粒の砥粒を均一に分散させた有気孔組織とし、安定した砥流切り込み深さを実現
・砥粒率40％の高い集中度で、50m/sの高い周速度に対応。
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| レンジボンドホイールとナノメイトVハート |
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| ■単結晶シリコン加工に |
 
 低い研削抵抗がウエハの高平坦化を可能にし、300mmウエハで1ミクロン以下を実現しています。また従来のレンジボンドホイールに比べて、30％上の加工変質層の低減をも達成しています。
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| ■光通信用誘電体多層膜フィルター加工に |
 薄膜後の高精度鏡面加工においても低研削抵抗で高い平坦度が得られます。
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※価格・お問い合わせはmco@gol.comまでどうぞ。
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