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(ホルダー治具用)
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(無機系耐電防止剤)
マルチワイヤーソーでシリコンインゴットをスライスする時、ホルダー治具にカーボン材料を使用する事がほとんでした。ただし、カーボン材料は高価であり、需要と供給は為替相場の変動に関連して不安定でした。
そこで、カーボンに替わる新しい材料としてサーモプラスチックコンポジット材を開発いたしました。
この材料は、既存の輸入されたカーボン材と比較すると、高価ではなく、プロセスが簡単で、熱伝導率、固さ、強度、そして、反酸化率は非常に優れており、また、以前使われたスライシング ビーム材料と比較して引き起こされるクリーンルーム汚染とスラリーetcの突き刺さり問題なのどの解決に役立ちます。
また、外周刃切断時のサブストレートにも応用する事ができ、ブレードのドレッシング効果を得られ、スムーズなワーク切断を実現することが可能です。
■ インゴット用スライシング ビーム
3inch Slicing Beam
6inch 310,460mm Slicing Beam
8inch 310, 460mm Slicing Beam
12inch 310,400mm Slicing Beam
Graphite beam
■ LTウェハー水晶ウエハー・マグネット用スライシング
/カッティング ビーム
4inch-120mm Slicing Beam
3, 4inch Spacer
4inch Slicing Beam
製品特性
材料特性
1.アプリケーション
密度:1.90(gms/cc)
・インゴットスライシング
硬度:52-58(H.S)
・カッティング用治具
抵抗値:10(オーム)
(シリコン、サファイヤ、LT、水晶etc)
強度:1300-1500(kg/cm2)
2.材質
対衝撃力 :15-20(kg.cm/cm)
CaCO3( +・)炭酸カルシウム
熱塑性温度:200度
3. 製造サイズ
抵抗電流値:11(kv/mm)
1) 標準サイズ
抗張力:400-500(kg/cm2)
( 3",4",6",8",12") x (310mm,460mm)
2) ユーザーカスタムサイズ製造可能
*別途要相談
環境特性
4. CaCO3 スライシングビームの有効性
特殊ハンドリング性無
1) 低コスト(comparing to graphite)
有毒性無
2) 環境親和性材料
化学反応無
3) 高加工性
化学的安定性
(砥粒突き刺さり問題などの低減、
スラリーリサイクル性..)
4) ブレードドレッシング効果
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