シリコンウェハー 12インチ プライム品(300mm)
商品コード SI-300-PRD-01
要見積り

主な用途

  • 装置の条件出し・パラメータ調整用モニターウェハー
  • ダイサー・BGのプリカット・搬送テスト
  • 薄膜成膜・表面処理の評価
  • 研究開発用高純度基板

製品仕様

項目 仕様
ウェハーサイズ 300mm ±0.5mm
ウェハー厚さ 775 ±25μm
導電型 P型/N型より選択(要リクエスト)
結晶方位 <100>/<111> より選択
フラット形状 Notch
ノッチ軸オリエンテーション <110> ±1°
ノッチ深さ 1mm (+0.25/-0)
ノッチ角度 90° (+5/-1)
表面仕上げ 両面ポリッシュ/片面ポリッシュ 選択可
グレード モニター/プライム/ダミー 選択可

対応オプション

  • P型/N型
  • オリフラ/ノッチアイラント 選択
  • 結晶方位 選択
  • 各種膜付きウェハー・パーティクルウェハー 小ロットから対応

納期・最小ロット

規格品は通常 1〜2週間。1枚から購入可能。

ご注意

  • 開封後の返品はお受けできません
  • 静電気対策のうえお取扱いください
  • 特殊仕様はお見積りフォームからご相談ください

数量:

在庫切れ

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