SiCウェハー 6インチ N型 Dummy（4H-SiC）
商品コード SIC-150-DUM-01
要見積り
主な用途
- 装置の搬送テスト・条件出し
- ダイサー・BGプリカット
- エピタキシャル装置の評価
製品仕様
| 項目 |
仕様 |
| ポリタイプ |
4H |
| 導電型 |
N型（窒素ドープ） |
| ウェハーサイズ |
150mm±0.2mm |
| ウェハー厚み |
350±25μm |
| マイクロパイプ密度 |
≤10 ea/cm² |
| LTV / TTV |
≤10μm / ≤15μm |
| Bow / Warp |
-45〜+45μm / ≤55μm |
| 表面処理 / 裏面処理 |
Si面CMP / C面polished |
| プライマリーフラット |
Notch |
納期
通常 1〜2週間。1枚から購入可能。
ご注意
- 開封後の返品はお受けできません
- 静電気対策のうえお取扱いください
数量：
在庫切れ
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