SiCウェハー 6インチ P-SBDグレード(4H-SiC・要見積り)
商品コード SIC-150-PSBD-Q
要見積り

この商品について

P-SBDグレードのSiC-SBD量産用ウェハーは個別お見積り制とさせていただいております。

ご使用プロセス・ロット数・仕様をご連絡いただければ、最適なグレードをご提案します。

仮仕様(6インチ × 4H-SiC P-SBD)

ポリタイプ 4H
表面方位 4°toward<11-20>±0.5°
導電型 N型
比抵抗(RT) 0.015-0.025Ω·cm
マイクロパイプ密度 ≤0.5 ea/cm²
EPD / TED ≤8,000 / ≤6,000 ea/cm²
BPD ≤2,000 ea/cm²
ウェハーサイズ / 厚み 150mm / 350±25μm
LTV / TTV ≤2μm / ≤6μm

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