SiCウェハー 6インチ 高純度半絶縁性（4H-SiC）
商品コード SIC-150-SI-01
要見積り
主な用途
- RFアンプシステム用基板
- LED（青色・紫外）基板
- 高周波デバイス開発
- エピタキシャル成長用基板
製品仕様
| 項目 |
仕様 |
| ポリタイプ |
4H |
| 導電型 |
高純度半絶縁性 |
| 比抵抗(RT) |
≥1E8Ω·cm |
| ウェハーサイズ |
150mm±0.2mm |
| ウェハー厚み |
500±25μm |
| マイクロパイプ密度 |
≤0.5 ea/cm² |
| LTV / TTV |
≤5μm / ≤3μm |
| Bow / Warp |
-25〜+25μm / ≤35μm |
| 表面処理 / 裏面処理 |
Si面CMP / C面Optical Polish |
| プライマリーフラット |
Notch |
納期
通常 1〜2週間。1枚から購入可能。
数量：
在庫切れ
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