SiCウェハー 8インチ N型 Dummy（4H-SiC）
商品コード SIC-200-DUM-01
要見積り

主な用途

  • 8インチ装置の搬送テスト・条件出し
  • ダイサー・BGプリカット
  • エピタキシャル装置評価

製品仕様

項目 仕様
ポリタイプ 4H
導電型 N型（窒素ドープ）
ウェハーサイズ 200mm±0.2mm
ウェハー厚み 500±25μm
マイクロパイプ密度 ≤50 ea/cm²
LTV / TTV ≤10μm / ≤15μm
Bow / Warp -65〜+65μm / ≤70μm
表面処理 / 裏面処理 Si面CMP / C面MP
プライマリーフラット Notch

納期

通常 1〜2週間。1枚から購入可能。

数量：

在庫切れ

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