キロプロス、CZ、HEM他、各種製法のインゴット及びウェハーを、お客様の用途、スペックに合わせて供給致します。 モース硬度9を持ち、石英以上の高融解点(2.053℃)と耐プラズマ特性、さらに光学的・化学的・電気的にも優れた特性を併せ持つサファイアは、各種基板・窓・機構用部品の他、幅広い用途が期待されてます。
2インチ | 3インチ | 4インチ | 6インチ | |
材質 | >99.996%高純度アルミナ | |||
品質 | 欠陥フリー(No Crakes, Pores, Scratches, Inclusions, Twins) | |||
直径 | 50.8±0.1mm | 76.2±0.2mm | 100.0±0.3mm | 150.0±0.5mm |
厚さ | 430±15um | 500±15um | 650±20um | 1300±30um |
結品方位 | C-plain(0001)±0.25° | |||
1次オリフラ長さ | 16.0±0.8mm | 22.0±1.0mm | 32.5±1.5mm | 50.0±2.0mm |
1次オリフラ方位 | A-plain(11-20)±0.2° | |||
TTV | 10um以下 | 15um以下 | 20um以下 | 25um以下 |
LTV | 10um以下 | 15um以下 | 20um以下 | 20um以下 |
TIR | 10um以下 | 15um以下 | 20um以下 | 20um以下 |
BOW | 10um以下 | 15um以下 | 20um以下 | 25um以下 |
Wrap | 10um以下 | 15um以下 | 20um以下 | 25um以下 |
表面仕上げ | Epi-ready(Ra<0.2nm) | |||
裏面仕上げ | 研削仕上げ(Ra=0.5~1.2nm) | |||
洗浄・梱包 | クラス100クリーンルーム内にて真空・窒素封入梱包 |
サファイアウェハーとは
サファイアウェハーとは、酸化アルミニウム(Al2O3)を使用して製造されるウェハーのことです。酸化アルミニウムは通称アルミナと呼ばれ、自然界に存在するものは宝石として取引されている貴重な鉱石で、サファイアをはじめ、ルビーやコランダムとして産出されています。
半導体として使用されている酸化アルミニウムは、自然界から採掘される鉱石からさらに不純物を低減させ、人工的に結晶化させて作られています。
こうして精錬された酸化アルミニウムは半導体として非常に高い性能を持ち、モース硬度9というダイヤモンドに次ぐ硬さや、2053℃という石英を上回る高い融解点、プラズマに対する高い耐性などを誇ります。
高温での高い安定性を持つことから、特にLED基板の材料として重宝されており、今やほとんどのLED基板がサファイアウェハーを使用して製造され、その他にもパワー半導体などさまざまな基板に使用されています。
また、近年では大型の酸化アルミニウム結晶を製造する技術が確立されており、大量生産が可能になったことから、従来よりもサファイアウェハーを安価に導入できるようになりました。
基板以外でも、例えばレンズや腕時計の窓材、スマートフォンのガラスカバーなどにも使用されています。 電子機器は年々高性能になっており、世の中のあらゆるものがIT化され始めていることから、これからもサファイアウェハーの需要はますます増えていくと予想されています。