・熱酸化膜(ダスト保証品も可能です)
・Poly膜(ノンドープ、ドープド)
・チッカ膜(LP・プラズマ)※12″も対応可能です。
・TEOS膜
・BPSG膜
・TI、TIN膜
・CU膜
・W膜
・パターン加工膜
・多層膜加工膜
・各種IC種類 上記の膜厚につきましては、都度ご相談に応じます。

(数量は各25枚からのご注文)

膜種成膜方法Φ対応可能膜厚Min受注数
プラズマTEOSプラズマCVD6~12~1μm以上25枚~
BPSGAP-CVD6~12~2μm以上25枚~
TiNスパッター6~12~2,000Å以上25枚~
Tiスパッター6~12~2,000Å以上25枚~
W (※1)スパッター6~12~1μm以上25枚~
Wsiスパッター 1μm以上 
Alスパッター6~12~1μm以上25枚~
Cu (※1)スパッター6~12~1μm以上25枚~
Si3N4プラズマ&LP6~12~1μm;5,000Å以上25枚~
Poly-Si (doped)LP-CVD6~12~<5,000Å以上25枚~
Poly-Si (non-doped)LP-CVD6~12~<5,000Å以上25枚~

※1:要 下地膜
※:他の膜も加工可能です。