石英ガラス基板（ウエハー）は製造法によって、合成石英基板、溶融石英基板に区別できますが、純度の高い合成石英基板は幅広い用途に使用できます。精密に研磨された合成石英基板は広範囲での高い透過率と低い熱膨張率を有し、特に他のガラス基板では得られ無い紫外域での高透過率によって、フォトリソグラフィ加工用を始め、光、半導体、MEMSデバイスの分野では様々な応用が期待されています。片面研磨、両面研磨の合成石英基板は最大直径200mm、最小板厚0.1mm程度まで研磨加工できます。ST-カット 人工水晶基板を販売しています。MEMS等のご研究用途向けです。 AT-カットその他もお問い合わせ下さい。
（注）水晶基板を用いたデバイスは最終的な加工厚さや環境等によって特性が著しく変化します。当該基板は個々の開発における最終動作までを保証するものではありません。予めご了承ください。