装置の条件出し、ダイサーやBGのプリカット、搬送テストなどの用途に使います。 モニターウエハーはもちろんのこと、各種サイズ､各種厚み､パーティクルウエハー対応致します。 P型/N型・オリフラ／Vノッチ・結晶方位などご要望に応じて対応致します。 各種膜ウエハーも小ロットからお受けいたしますのでお問い合わせください。 小口径２インチ～６インチモニターウエハーも格安で販売致します。 ８インチから１２インチモニターウエハーも格安で販売致します。 小ロットから対応いたします。 製品につきましては、下記規格表をご確認ください。 規格表以外にもお取り寄せ致しますのでお問い合わせください。 当製品についてのお問い合わせ・お見積りはお問い合わせ・お見積フォームからお願いいたします。
| 76mm | 100mm | 125mm | 150mm | 200mm | 300mm | 450mm(*) | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 直径許容差(mm) | ±0.5 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 |
| ウェーハ厚さ(μm) | 380 | 525 | 625 | 625 | 725 | 775 | 925 |
| 厚さ許容差(μm) | ±15 | ±15 | ±15 | ±20 | ±20 | ±25 | ±25 |
| 厚さむら最大(μm) | 25 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 |
| フラットのオリエンテーション | {110}±1° | {110}±1° | {110}±1° | {110}±1° | {110}±1° | {110}±1° | {110}±1° |
| フラット長さ(mm) | 22 | 32.5 | 42.5 | 47.5 | 57.5 | ノッチ | ノッチ |
| フラット長さ許容差(mm) | ±1.5 | ±2.5 | ±2.5 | ±2.5 | ±2.5 | ||
| フラット内接円径(mm) | – | – | – | – | – | 195.5 | – |
| フラット内接円径許容差(mm) | – | – | – | – | – | ±0.2 | – |
| ノッチ軸のオリエンテーション | – | – | – | – | <110>±1° | <110>±1° | <110>±1° |
| ノッチ深さ(mm) | – | – | – | – | 1 | 1 | 1 |
| ノッチ深さ許容差(mm) | – | – | – | – | +0.25,-0.00 | +0.25,-0.00 | +0.25,-0.00 |
| ノッチ角度(°) | – | – | – | – | 90 | 90 | 90 |
| ノッチ角度許容差(°) | – | – | – | – | +5,-1 | +5,-1 | +5,-1 |
*Single Carrier or FOSB
シリコンウェハーとは
集積回路（ICまたはLSI）と呼ばれる電子部品を構成する材料の1つであるウェハーのうち、高純度の珪素（シリコン）を使用して作られているものをシリコンウェハーと呼びます。
ウェハーとは、珪素などの半導体物質の結晶でできた「インゴット」と呼ばれる円柱状の物体を、厚さ1mm程度の薄い板状にスライスし、さらに表面を研磨・洗浄して作られたものです。
現代の集積回路に使用されているウェハーの多くがシリコンウェハーであり、アクセプターやドナーといった不純物を導入して半導体素子を形成するなど、さまざまな電子回路の製造に応用され、現代人の暮らしに大きく貢献してきました。
実は日本はシリコンウェハーの製造において世界を圧倒的にリードしており、2021年には信越化学工業株式会社と株式会社SUMCOの2社による生産だけで世界の半分ほどのシェアを占めています。
日本のシリコンウェハーの製造技術は非常に高度で、表面の目に見えない小さな凹凸までも徹底的になくして滑らかに加工されており、世界中のどの物質よりも平坦だと言われているほど精密です。
私たちが日常生活でシリコンウェハーを直接目にすることはほとんどありませんが、見えない場所で大活躍しています。
例えば、スマートフォンやPCなどの電子機器類はもちろん、テレビやエアコンなどの家電製品や、自動車や公共交通機関などにも使用されており、今やシリコンウェハーは現代人の暮らしには不可欠なのです。