・熱酸化膜（ダスト保証品も可能です）
・Poly膜（ノンドープ、ドープド）
・チッカ膜（LP・プラズマ）※12″も対応可能です。
・TEOS膜
・BPSG膜
・TI、TIN膜
・CU膜
・W膜
・パターン加工膜
・多層膜加工膜
・各種IC種類 上記の膜厚につきましては、都度ご相談に応じます。
(数量は各25枚からのご注文)
| 膜種 | 成膜方法 | Φ | 対応可能膜厚 | Min受注数 |
|---|---|---|---|---|
| プラズマTEOS | プラズマCVD | 6～12 | ～1μm以上 | 25枚～ |
| BPSG | AP-CVD | 6～12 | ～2μm以上 | 25枚～ |
| TiN | スパッター | 6～12 | ～2,000Å以上 | 25枚～ |
| Ti | スパッター | 6～12 | ～2,000Å以上 | 25枚～ |
| W (※1) | スパッター | 6～12 | ～1μm以上 | 25枚～ |
| Wsi | スパッター | 1μm以上 | ||
| Al | スパッター | 6～12 | ～1μm以上 | 25枚～ |
| Cu (※1) | スパッター | 6～12 | ～1μm以上 | 25枚～ |
| Si3N4 | プラズマ&LP | 6～12 | ～1μm；5,000Å以上 | 25枚～ |
| Poly-Si (doped) | LP-CVD | 6～12 | ～<5,000Å以上 | 25枚～ |
| Poly-Si (non-doped) | LP-CVD | 6～12 | ～<5,000Å以上 | 25枚～ |
※1：要 下地膜
※：他の膜も加工可能です。